純水和超純水廣泛用于電廠、電子、醫藥、化工行業、通過各種膜的過濾或離子交換作用，將水中的有害離子去除。
電子電廠多用的脫鹽水(shui)(shui)，其脫鹽水(shui)(shui)水(shui)(shui)質(zhi)主要指標為:硬度(du)約等于零，電導率≤0.2μs.cm，SiO2≤20ppb。
化(hua)工(gong)廠(chang)化(hua)工(gong)用水(shui)(shui)多(duo)種多(duo)樣，通常(chang)水(shui)(shui)質(zhi)不(bu)會比(bi)電廠(chang)水(shui)(shui)質(zhi)要高，但可能會對某些(xie)離子有(you)要求，所以常(chang)用一級或者二級反(fan)滲(shen)透工(gong)藝(yi)。出水(shui)(shui)水(shui)(shui)質(zhi)電導(dao)為5~10μs.cm以上。如(ru)有(you)更(geng)高的(de)要求則后面(mian)加混床或EDI。
醫藥醫藥用水多對電導和細菌作要求，對系統所用材料材質有要求，多選用不銹鋼產品。通常純水后要加殺菌消毒裝置。
電子行業電子行業對水的要求是最高的，多數電子用水要求達到18兆。對電阻率的要求只是電子用水的一小部分，它對其中很多離子都有較高要求，所以對安裝材料及管道有特殊要求。選用工藝也是最復雜的。通常要在EDI后加拋光混床及超濾、殺菌、氮封水箱等裝置，造價也很高。
