簡 介:
電子(zi)行業(ye)對(dui)水中的離子(zi)含(han)量(liang)要(yao)求非常高,本系統(tong)采用先(xian)進的反滲(shen)透技術,結(jie)合尖端的EDI,混床技術,使產水水質最高可達18.25兆歐,水質符合美國ASTM標準。目前我(wo)國電子(zi)工(gong)業(ye)部把電子(zi)級水質分為(wei)五個(ge)行業(ye)標準,分別(bie)為(wei)18MΩ?CM,15MΩ?CM,10MΩ?CM,2MΩ?CM和0.5MΩ?CM,以(yi)區分不(bu)同水質。
技術參數:
產水(shui)水(shui)質:水(shui)質符合美國ASTM標(biao)準(zhun),電子工業部超純(chun)水(shui)水(shui)質標(biao)準(zhun)18MΩ?CM,15MΩ?CM,10MΩ?CM,2MΩ?CM和(he)0.5MΩ?CM五(wu)級
產(chan)水水量(liang):0.5-100T/H
材(cai) 質:玻璃鋼、不銹鋼、有機玻璃等
工藝流程:
1、預處(chu)理反滲透水(shui)箱陽床(chuang)(chuang)陰床(chuang)(chuang)混床(chuang)(chuang)純化水(shui)箱純水(shui)泵(beng)紫外(wai)線殺菌器精制混床(chuang)(chuang)精密過濾器用水(shui)對象
2、預(yu)處理(li)一級(ji)反滲透加藥泵( PH調節(jie))中間水(shui)箱二(er)級(ji)反滲透純化水(shui)箱純水(shui)泵紫外(wai)線殺菌器0.2或(huo)0.5μm精(jing)密過濾器用水(shui)對象(xiang)
3、預處理反滲透中(zhong)間水(shui)箱水(shui)泵EDI裝置純化水(shui)箱純水(shui)泵紫外線殺菌(jun)器(qi)0.2或0.5μm精(jing)密過濾器(qi)用水(shui)對象
4、預(yu)處理(li)反滲透中間水箱水泵(beng)(beng)EDI裝置純化水箱純水泵(beng)(beng)紫(zi)外(wai)線殺菌器精制(zhi)混床(chuang)0.2或(huo)0.5μm精密過(guo)濾器用水對(dui)象
主要特點:
*該系統(tong)一切(qie)動(dong)作均在預設程序下自動(dong)進行,具(ju)備全自動(dong)功能(neng)。
*系統結構(gou)布置緊湊,有效(xiao)節約(yue)空間。
*系(xi)統能耗低(di),制水成本低(di)廉。
*系統(tong)運行安全可靠,供水管(guan)路封閉,出水水質穩定。
適用范圍:
生產(chan)半導體、光(guang)伏太陽(yang)能、集(ji)成電(dian)路(lu)(lu)芯片及封(feng)裝、液晶顯示(shi)、高精度線路(lu)(lu)板、光(guang)電(dian)器件、各種電(dian)子器件等電(dian)子工業用超純水系統。
傳統(tong)的(de)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)方法不能(neng)制(zhi)備出超(chao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui),化(hua)學(xue)(xue)意義上純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)(液態的(de)H2O)的(de)理論電(dian)導(dao)率(lv)為(wei)18.25MΩ?CM。人們生產的(de)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)是(shi)(shi)達不到理論值的(de),但(dan)18 MΩ?CM似(si)乎是(shi)(shi)可以達到的(de),對于(yu)這種(zhong)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui),有(you)(you)的(de)稱(cheng)(cheng)為(wei)高純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui),有(you)(you)的(de)稱(cheng)(cheng)為(wei)超(chao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui),目前(qian)還(huan)沒有(you)(you)系(xi)統(tong)的(de)定(ding)義。也(ye)沒有(you)(you)劃(hua)分等級(ji)界限(xian),從商業觀(guan)點看(kan)叫(jiao)超(chao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)似(si)乎比高純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)更好(hao)聽一(yi)些。筆者以為(wei)還(huan)是(shi)(shi)看(kan)電(dian)導(dao)率(lv)指(zhi)標(biao)更準(zhun)確一(yi)些。 現在制(zhi)備超(chao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)的(de)方法是(shi)(shi)將各種(zhong)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)化(hua)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)的(de)新(xin)技術科學(xue)(xue)地結合起來(lai)(lai),不僅(jin)能(neng)生產超(chao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui),而且(qie)變得(de)非常容易(yi)。目前(qian)市售的(de)超(chao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)器就(jiu)是(shi)(shi)一(yi)個成(cheng)功的(de)例子。自來(lai)(lai)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)進去(qu)超(chao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)(shui)出來(lai)(lai),非常方便。而且(qie)使用壽命也(ye)越(yue)來(lai)(lai)越(yue)長。
超純水(shui)器制備超純水(shui)的原理和(he)步(bu)驟大體如下(xia):
1.原(yuan)水:可(ke)用自(zi)來水或普(pu)通蒸餾水或普(pu)通去離子水作原(yuan)水。
2.機(ji)械過(guo)(guo)濾:通過(guo)(guo)砂(sha)芯濾板和纖維(wei)柱濾除機(ji)械雜質,如鐵銹和其他懸(xuan)浮物等。
3.活性(xing)炭過(guo)濾(lv):活性(xing)炭是廣譜吸(xi)附(fu)(fu)劑,可吸(xi)附(fu)(fu)氣體成分(fen),如水中的余(yu)氯(lv)等(deng);吸(xi)附(fu)(fu)細菌(jun)和某些過(guo)濾(lv)金屬等(deng)。氯(lv)氣能(neng)損害(hai)反滲透膜,因此應力求(qiu)除(chu)盡。
4.反滲(shen)透(tou)膜(mo)過濾:可(ke)濾除95%以上的(de)電解質(zhi)和(he)(he)大(da)分子化合(he)物,包括膠體微粒(li)和(he)(he)病毒等。出于絕大(da)多數離(li)子的(de)去(qu)除,使離(li)子交換(huan)柱(zhu)的(de)使用壽命(ming)大(da)大(da)延長(chang)。
5.紫(zi)(zi)外(wai)線消解(jie):借助于短波(180nm-254nm)紫(zi)(zi)外(wai)線照射分(fen)解(jie)水中(zhong)的不易被(bei)活性炭吸附的小有機化合物(wu),如甲醇(chun)、乙醇(chun)等(deng),使其轉變成CO2和水,以(yi)降低TOC的指標。
6.離子(zi)(zi)交(jiao)換(huan)單(dan)元:已知混合離子(zi)(zi)交(jiao)換(huan)床(chuang)是(shi)(shi)除去水中離子(zi)(zi)的(de)(de)(de)決定(ding)性手段。借助于(yu)多(duo)級混合床(chuang)獲得(de)超純(chun)水也并不(bu)困難。但水的(de)(de)(de)TOC指標(biao)主要來自樹脂床(chuang)。因此高(gao)(gao)質(zhi)量(liang)的(de)(de)(de)離子(zi)(zi)交(jiao)換(huan)樹脂就(jiu)(jiu)成為成功(gong)的(de)(de)(de)關鍵。所謂高(gao)(gao)質(zhi)量(liang)的(de)(de)(de)樹脂,就(jiu)(jiu)是(shi)(shi)化學穩定(ding)性特別好,不(bu)分解,不(bu)含低聚物、單(dan)體和添加劑等的(de)(de)(de)樹脂。所謂“核工業級樹脂”大概(gai)就(jiu)(jiu)屬于(yu)這一類(lei)樹脂。對樹脂的(de)(de)(de)要求是(shi)(shi)質(zhi)量(liang)越高(gao)(gao)越好。可(ke)惜國內很少(shao)有人(ren)在這方面(mian)下功(gong)夫(fu),滿足于(yu)生產(chan)大路線。
7. 0.2μm濾膜過濾,以除去水中的顆粒物道每毫升1個(小于0.2μm的口經過上述各步驟處理后生產出來的水就是超純水了。應能滿足各種儀器分析,高純分析,痕量分析等的要求,接近或達到電子級水的要求。